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    CIF掃描電鏡等離子清洗機

      CIF 掃描電鏡(SEM)等離子清洗機采用遠程等離子清洗源 設計,清洗快速、高效、低轟擊損傷,主要用于 SEM 或 FIB 等腔 體內碳氫化合物的清洗。

      更新時間:2024-03-19 09:53:02
    1. 詳細信息

    產品特點

    ◆ ?遠程離子清洗源

    ??清洗快速、高效

    ◆ ?低轟擊損傷

    技術參數

    ?

    產品型號

    CIF-SEM

    法蘭接口

    KF40(CF40)

    工作氣壓

    0.3-3Pa

    等離子電源

    13.56MHz 射頻電源,射頻功率 5-150W 可調

    遠程等離子源,自動匹配器

    氣體控制

    標配單路質量流量計(MFC)可選雙路。0-500sccm,自動控制氣體流量,不會受環境溫度和壓力變化影響

    氣源選擇

    根據需求氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源選擇

    真空保證

    真空計和電磁閥安全互鎖

    操控方式

    7 寸全彩觸摸屏控制,中英文互動操作界面

    電源 / 功率

    AC220V,50/60Hz,300W

    可選配件

    可選氧氣、氮氣、氫氣發生器, ??氫氣純度﹥ 99.999%,輸出流量 0-500SCCM

    質量保證

    二年質保,終身維護

    產品尺寸

    L320xW385xH465mm

    包裝尺寸

    L440xW535xH725mm

    整機重量

    25

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