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    CIF實驗室型等離子清洗機CPC-F系列

      CIF 推出的新一代科研型等離子清洗設備,合理的結構設計,優化的腔體尺寸,使得處理樣品更大,適用范圍更廣。 產品性能穩定,操作簡單方便,易維護。

      更新時間:2024-04-09 09:11:47
    1. 詳細信息
    應用領域:
    等離子清洗設備廣泛應用于材料學、微電子、半導體、線 路板、LED、微流控、光電太陽能、生物醫學等領域,主要用 于材料表面進行清洗、改性、刻蝕等目的。1710742555393.jpg

     產品特點

    ◆  7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面,自動控制監測工藝參數狀態,20 個配方程序,工藝數據可存儲追溯。

    ◆  PLC 控制整個清洗過程,手動、自動兩種工作模式。

    ◆  用美國德威爾(Dwyer)氣體浮子流量計或質量流量計  (CPC-FM),可輸入氧氣、氬氣、氮氣、氫氣或混合氣等氣體,氣體控制準確。

    ◆  氣體返填吹掃,HEPA 高效過濾,防止二次污染。

    ◆  316 不銹鋼、石英真空艙可選擇,全真空管路系統采用316 不銹鋼材質,耐腐蝕無污染。

    ◆  采用 60 度傾角操作面板設計,符合人體功能學,操作方 便,界面友好。

    ◆  上控制下艙體結構設計,結構緊湊,占地空間小。

    ◆  內凹式前面板設計,有效保護流量計和艙門不易損壞。

    ◆  處理快速高效均勻,無污染,工藝重復性好。

    ◆  樣品處理溫度低,無熱損傷和熱氧化。

    ◆  安全保護,艙門打開,自動關閉電源。

    技術參數

    型號

    CPC-F

    CPC-Fplus

    CPC-FM

    CPC-FMplus

    射頻電源

    40KHz

    13.56MHz

    40KHz

    13.56MHz

    射頻功率

    0-600W

    0-150W

    0-600W

    0-150W

    匹配器

    自動匹配器

    自動匹配器

    激發方式

    電容式或電感耦合(ICP)

    電容式或電感耦合(ICP)

    氣體控制

    雙浮子流量計

    單路 MFC(可選兩路)

    艙體尺寸

    D200xΦ155mm

    D200xΦ155mm

    艙體材質

    不銹鋼或石英玻璃

    不銹鋼或石英玻璃

    艙體容積

    3.8L-5L

    3.8L-5L

    有效處理尺寸

    L200xW155mm

    L200xW155mm

    時間設定

    9999 秒

    9999 秒

    真空泵

    抽速 4m3/h

    抽速 4m3/h

    氣體穩定時間

    1 分鐘

    1 分鐘

    真空度

    100pa 以內

    100pa 以內

      

    AC220V 50/60Hz 766/316W

    AC220V 50/60Hz  752/302W

    產品尺寸

    L440xW410xH455mm

    L440xW410xH455mm

    包裝尺寸

    L560xW560xH685mm

    L560xW560xH685mm

    整機重量

    32kg

    32kg

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