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    CIF實驗室型等離子清洗機CPC-G系列

      CIF推出全新一代 CPC-G系列實驗室型等離子體清洗設備, 顛覆傳統等離子體清洗設備設計理念。具有較大的腔體尺寸和有效樣 品處理面積, 使用成本低, 性價比高, 處理快速高效, 特別適合于大學, 科研院所和光電企業實驗室小批量中試生產。

      更新時間:2024-03-26 16:10:22
    1. 詳細信息

    產品特點:

    ◆ ?7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面,自動控制監測工藝參數狀態,20 個配方程序,工藝數據可存儲追溯。

    ◆ ?PLC 工控機控制整個清洗過程,手動、自動兩種工作模式。

    ◆ ?石英真空艙,真空管路系統采用 316 不銹鋼材質,耐腐蝕無污染。

    ◆ ?采用質量流量計,實現對氣體輸入精準控制,改變傳統浮子流量計控制氣體流量不準確問題。

    ◆ ?HEPA 高效過濾,氣體返填吹掃,防止二次污染。

    ◆ ?60 度傾角操作界面設計,符合人體功能學,操作方便,界面友好。

    ◆ ?頂置真空艙,上開蓋設計,下壓式鉸鏈開關方式,開關蓋方便。

    ◆ ?采用花灑式多孔進氣方式,改變傳統等離子清洗機單孔進氣不均勻問題。

    ◆ ?上置式 360 度自由水平取放樣品托盤設計,符合人體功能學,操作更方便。

    ◆ ?有效清洗面積大,可清洗最大直徑 8 吋硅片。

    ◆ ?安全保護,艙門打開,自動關閉電源。


    技術參數:

    ?

    型號

    CPC-G

    CPC-Gplus

    射頻電源

    40KHz

    13.56MHz

    射頻功率

    0-600W

    0-150W

    匹配器

    自動匹配

    激發方式

    電容式

    氣體控制

    單路 MFC(可選兩路)

    艙體尺寸

    H100xΦ269mm

    艙體容積

    5.6L

    艙體材質

    石英玻璃

    有效處理尺寸

    Φ269mm?圓盤

    時間設定

    9999 秒

    真空泵

    抽速 4m3/h

    氣體穩定時間

    1 分鐘

    真空度

    100pa?以內

    ???

    AC220V 50/60Hz ?752/302W

    產品尺寸

    L425xW480xH445mm

    包裝尺寸

    L550xW630xH700mm

    整機重量

    30kg

    ?
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